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English| 發(fā)布日期：2023-11-03 |
薄膜科學(xué)上的解釋為：由原子，分子或離子沉積在基片表面形成的2維材料。例如光學(xué)薄膜、復(fù)合薄膜、超導(dǎo)薄膜、聚酯薄膜、尼龍薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被廣泛用于半導(dǎo)體、電子電器，機械，印刷等行業(yè)。
在薄膜的所有性能指標中，薄膜的厚度是衡量其質(zhì)量的主要指標。薄膜厚度是否達到標準對薄膜表面特性、光學(xué)特性、阻隔性以及拉伸強度等都有很大影響，將薄膜厚度偏差控制在生產(chǎn)要求范圍以內(nèi)是保證薄膜其它特性的重要前提條件。隨著薄膜的種類越來越多，厚度范圍越來越廣。有厚度為幾十微米以下的小厚度薄膜，也有厚度為幾百到幾千微米的大厚度薄膜?，F(xiàn)有的薄膜厚度測量技術(shù)中，光纖光譜儀因其快速、無損、原位測量、高精度的特點，在半導(dǎo)體材料、高分子材料、光伏、液晶面板和光學(xué)行業(yè)以及科研高校都得到廣泛的應(yīng)用。
如海光電針對薄膜檢測提供核心光譜儀和光源模組。光譜儀具備強紫外響應(yīng)、高信噪比、寬動態(tài)范圍、寬波段、穩(wěn)定傳輸?shù)忍匦?，可被用于反射光譜測膜厚、透射光譜測膜厚等場景下的光譜探測。復(fù)合光源具有寬波段范圍、長壽命、強穩(wěn)定性、高性價比、強度可調(diào)節(jié)等特點，被廣泛用于測試分析。
光纖光譜儀測膜厚的優(yōu)勢與特點
ü 采樣速度快，適用于工業(yè)在線實時測量。
ü 非接觸式光學(xué)無損測量。
ü 靈活、體積小，重量輕，USB連接方式即插即用。
ü 可根據(jù)需求，定制不同波段的光譜儀。
ü 可測多層膜厚
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技術(shù)參數(shù)
